<table id="x16o6"></table>
產品參數
| 序 | 項目 | 規格 |
| 1 | 設備尺寸 |
1100mm*1000mm*2014 mm（W*H*D） （含底輪指示燈） |
| 2 | 電力需求 | 380V，16A |
| 3 | 腔體尺寸 | 尺寸：400mm*400mm*450mm（W*H*D），70L 材質：304 不銹鋼 |
| 4 | 電極形式 | 內置平板式電極，尺寸：375*360mm； |
| 5 | 托盤載物 | 單層載物面積：340*340mm，共 6 層，層間距：50mm |
| 6 | 真空泵 | 油泵，抽速：60m3/h，極限真空：1Pa |
| 7 | 等離子發生源 | 13.56MHz；600w 連續可調 |
| 8 | 進氣系統 | 共 2 路進氣；0-500sccm 質量流量控制器 |
| 9 | 控制系統 | PLC+觸摸屏 |
| 10 | 真空測量系統 | 日本愛發科皮拉尼真空計 |
| 11 | 處理時間 | 5-60min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用氣體 | Ar、O2、N2、Ar+ H2、CF4、空氣等 |
| 14 | 權限設置 | 兩級權限 |
設備外形及尺寸參考圖
Copyright © 2017 溫州市億鴻科技有限公司 All Rights Reserved. 技術支持：溫州網絡公司 浙ICP備17055299號-1 網站地圖 XML
友情鏈接：等離子清洗機 等離子處理機 高平臺球閥 不銹鋼封頭 高平臺球閥 片式球閥 不銹鋼管件 不銹鋼封頭 角座閥 保溫球閥 硬密封蝶閥 蝸輪減速機 不銹鋼法蘭 衛生級隔膜閥 衛生級管件 全焊接球閥 雙密封導軌閥 薄型球閥 保溫閥門
<table id="x16o6"></table>
